TY  - BOOK
AU  - Мальцев,Петр Павлович
TI  - Нано- и микросистемная техника. От исследований к разработкам: сборник статей : [посвященный 5-летию журнала "Нано- и микросистемная техника"]
T2  - Мир электроники
SN  - 5948360636
PY  - 2005///
CY  - Москва
PB  - Техносфера
KW  - Наноструктуры (физ.)
KW  - RuMoRKP
KW  - нанотехнология
KW  - наноматериалы
KW  - наночастицы
KW  - наносистемы
KW  - нанокомпозиты
KW  - нанотехнологии молекулярные
KW  - микросистемная техника
KW  - наноионика
KW  - проводники суперионные
KW  - нанотрубки полупроводниковые
KW  - микротрубки полупроводниковые
KW  - нанокриогенные технологии
KW  - литография ультрафиолетовая экстремальная
KW  - наноэлектроника
KW  - 2D-наноразмерные структуры
KW  - литография зондовая сканирующая
KW  - нанометровые элементы
KW  - транзисторы гетероструктурные на квантовых точках
KW  - кристаллы фотонные
KW  - анодное травление кремния
KW  - нанотрубки углеродные
KW  - нанокомпозитные структуры
KW  - поверхностные явления
KW  - никель металлический
KW  - каталитический синтез
KW  - логические ключи
KW  - методы исследования наноструктур
KW  - зеркала многослойные
KW  - ультрафиолетовое излучение экстремальное
KW  - рентгеновское излучение мягкое
KW  - электронное строение
KW  - наноуглеродные частицы взаимодействующие
KW  - микромеханика
KW  - сканирующая зондовая микроскопия
KW  - нанометровые диапазоны измерений
KW  - электронная эмиссия полевая
KW  - наноструктурированные материалы
KW  - сканирующая туннельная микроскопия
KW  - нанометаллы
KW  - микрокристаллические металлы
KW  - нанометаллические зерна
KW  - атомно-силовая микроскопия
KW  - наноразмерные пленки меди
KW  - фрактальные структуры
KW  - нанолитография
KW  - микроскопы атомно-силовые
KW  - микроэлектроника
KW  - кремний-на-изоляторе
KW  - математическое моделирование
KW  - пьезорезистивный эффект
KW  - ISETCAD, пакет программ
KW  - SPICE-модели
KW  - фотоприемные структуры
KW  - нанотехника
KW  - микроакселерометры
KW  - вибродатчики векторные трехкомпонентные
KW  - датчики интегральные
KW  - датчики температуры
KW  - гетероэпитаксиальные структуры
KW  - Холла полевой датчик
KW  - акселерометры туннельно-эмиссионные
KW  - микрозеркала в кремниевом кристалле
KW  - микрооптоэлектромеханические системы
KW  - биосенсоры
KW  - биомолекулярная электроника
KW  - сенсоры химические
KW  - мультисенсорные системы
KW  - сенсоры газовые
KW  - мехатроника
KW  - датчики кремниевые
KW  - микросистемы кремниевые
KW  - преобразователи кремниевые
KW  - микроэлектронные сенсорные системы
KW  - элементная база микросистемной техники
KW  - летательные аппараты беспилотные
KW  - сенсорные микроустройства мобильные
KW  - микророботы летающие
KW  - сенсорные сети
KW  - твердотельная микроэлектроника
KW  - волоконные наноэлектромеханические системы
KW  - волоконные микроэлектромеханические системы
KW  - 3D-МЭМС
KW  - 3D-НЭМС
KW  - LIGA-технологии
KW  - 3D-структуры
KW  - волоконные технологии
KW  - робототехника
KW  - автоэмиттеры
N1  - Библиогр. в конце ст
ER  -