TY  - BOOK
AU  - Неустроев,Ефим Петрович
TI  - Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (10кэВ/а. е. м. ) и высоких ("1МэВ/а. е. м. ) энергий, при отжигах до 1050С: Диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 01.04.10
PY  - 2000///
CY  - Новосибирск
KW  - полупроводники
KW  - сопротивление
KW  - проводимость
KW  - электрокинетика
KW  - ионная имплантация
KW  - кристаллы
KW  - кремний
KW  - блистеринг
KW  - ионное облучение
KW  - инертные газы
KW  - дефектообразование
KW  - электрофизические свойства
KW  - кислород
KW  - азот
KW  - гидростатическое давление
KW  - Холла эффект
KW  - водород
KW  - термодоноры (физика полупроводников)
KW  - термообработка
KW  - диссертации
N1  - Библиогр.: л. 157-167
ER  -