TY  - BOOK
AU  - Горелик,Семен Самуилович
AU  - Дашевский,Михаил Яковлевич
TI  - Материаловедение полупроводников и диэлектриков: [учебник для вузов по специальности "Физика и технология материалов и компонентов электронной техники"]
SN  - 5876230187
PY  - 2003///
CY  - Москва
PB  - МИСИС
KW  - Полупроводники - Учебники и пособия
KW  - rurkp
KW  - Диэлектрики - Учебники и пособия
KW  - химические связи в полупроводниках
KW  - химические связи в металлах
KW  - полупроводниковые материалы, свойства
KW  - диэлектрические материалы, свойства
KW  - фазовые равновесия в полупроводниках
KW  - фазовые равновесия в диэлектриках
KW  - фазовые равновесия в металлах
KW  - диаграммы фазовых равновесий
KW  - полупроводниковые фазы двойные
KW  - металлические фазы двойные
KW  - диэлектрические фазы двойные
KW  - диэлектрические фазы многокомпонентные
KW  - полупроводники аморфные
KW  - дефекты твердых тел структурные
KW  - дислокации
KW  - точечные дефекты
KW  - поверхности полупроводников
KW  - диффузия в полупроводниках
KW  - диффузия в металлах
KW  - легирование полупроводников, методы
KW  - ионная имплантация полупроводников
KW  - кристаллизация полупроводников
KW  - кристаллизация диэлектриков
KW  - пластическая деформация полупроводниковых материалов
KW  - термическая обработка полупроводниковых материалов
KW  - эпитаксиальные слои полупроводников
KW  - поликристаллические пленки
KW  - аморфные пленки
KW  - гетероэпитаксиальные композиции
N1  - Библиогр.: с. 471 - 475; Предм. указ.: с. 475 - 480
ER  -