TY  - BOOK
AU  - Луфт,Берта Давыдовна
AU  - Перевощиков,Виктор Александрович
AU  - Возмилова,Лидия Николаевна
TI  - Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников
PY  - 1982///
CY  - М.
PB  - Радио и связь
KW  - поверхности полупроводников
KW  - химико-механическое травление
KW  - химико-динамическое травление
KW  - электрохимическое травление
KW  - фотохимическое травление
KW  - фотоэлектрохимическое травление
KW  - плазмохимическое травление
KW  - монокристаллические подложки
KW  - кремний
KW  - германий
KW  - травление полупроводников
KW  - препарирование кристаллов
KW  - эпитаксиальные структуры
KW  - полупроводниковые материалы
KW  - полупроводниковые подложки
KW  - химическое полирование
KW  - анизотропное травление
N1  - Библиогр.: с. 129-135
ER  -