TY  - BOOK
AU  - Севастьянов,Евгений Юрьевич
AU  - Сергейченко,Надежда Владимировна
AU  - Черников,Евгений Викторович
AU  - Максимова,Надежда Кузьминична
ED  - Томский государственный университет.
TI  - Полупроводниковые тонкопленочные газовые сенсоры
SN  - 9785895035801
PY  - 2016///
CY  - Томск
PB  - Издательство НТЛ
KW  - сенсоры газовые полупроводниковые
KW  - тонкие пленки
KW  - полупроводники металлооксидные
KW  - детектирование газов
KW  - нанокристаллические пленки
KW  - диоксид олова
KW  - триоксид вольфрама
KW  - благородные металлы каталитические
KW  - напыление магнетронное
KW  - сенсоры полупроводниковые миниатюрные
KW  - микроструктура тонких пленок
KW  - сенсоры водорода
KW  - сенсоры монооксида углерода
KW  - сенсоры сероводорода
KW  - поверхности полупроводников
KW  - сенсорные материалы
KW  - микроэлектронные технологии тонкопленочные
KW  - гетерогенный катализ на поверхности полупроводников
KW  - монографии
N1  - Библиогр.: с. 151-157
ER  -