Полупроводниковые тонкопленочные газовые сенсоры / Н. К. Максимова, Е. Ю. Севастьянов, Н. В. Сергейченко, Е. В. Черников ; Нац. исслед. Том. гос. ун-т. - Томск : Издательство НТЛ, 2016. - 163 с.: ил., табл.