TY  - BOOK
AU  - Чупахин,Михаил Сергеевич
AU  - Ахерн,А.
AU  - Францен,Д.
AU  - Герцог,Р.
TI  - Масс-спектрометрический метод определения следов
KW  - масс-спектрометрия искровая
KW  - твердые вещества
KW  - электрические разряды
KW  - ионные токи
KW  - элементный анализ
KW  - микропримеси
KW  - пленки тонкие полупроводниковые
KW  - пленки тонкие металлические
KW  - примеси
KW  - тонкие пленки
KW  - масс-спектрометры
KW  - физика электрического разряда
KW  - сверхчистые материалы
N1  - В содерж. авт.: А. Ахерн, Д. Францен, Р. Герцог и др; Библиогр. в конце разделов; Предм. указ.: с. 445-447
ER  -