TY  - BOOK
ED  - "Кремний 2016", школа молодых ученых и специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе
TI  - Кремний 2016: XI конференция и X школа молодых ученых и специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе, 12-15 сентября 2016 г., Новосибирск : тезисы докладов
PY  - 2016///
CY  - Новосибирск
PB  - [б. и.]
KW  - материаловедение кремния
KW  - кремниевые солнечные элементы
KW  - кремниевые поверхностные структуры
KW  - наноструктуры кремния
KW  - кремний полупроводниковый, технологии получения
KW  - кремниевые гетероструктуры
KW  - тонкие пленки кремния
KW  - кремниевые пластины, сращивание
KW  - дислокационные сетки кремния
KW  - физика поверхности и границ раздела
KW  - дефекты кремния
KW  - примесные атомы кремния
KW  - наночастицы кремния, диагностика
KW  - дефекты поверхности кремния, методы исследования
KW  - нанокристаллы нитевидные, модель латерального роста
KW  - квантовые точки кремния, рост
KW  - нановискеры, рост
KW  - кремний, компьютерное моделирование роста
KW  - микроэлектроника кремниевая
KW  - эпитаксиальные слои кремния
KW  - кремний-на-изоляторе структуры
KW  - квантово-размерные структуры кремниевые
KW  - нанопроволоки окиси кремния, синтез
KW  - кремниевая электроника, нанотехнологии
KW  - ионная имплантация
KW  - литография
KW  - квантовые структуры, технология создания
KW  - кремний металлургический
KW  - кремний мультикристаллический, инженерия дефектов
N1  - Авт. указ.: с. 211-216; Библиогр. в конце ст
ER  -