TY  - BOOK
AU  - Орликовский,Александр Александрович
AU  - Валиев,Камиль Ахметович
TI  - Микроструктурирование тонких пленок
T2  - Труды ФТИАН; АН СССР, Физ.-технол. ин-т
SN  - 5020068179
PY  - 1991///
CY  - М.
PB  - Наука
KW  - Микролитография
KW  - rurkp
KW  - Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство
KW  - тонкие пленки
KW  - литография субмикронная
KW  - физика тонких пленок
KW  - распыление тонких пленок
KW  - анализ тонких пленок
KW  - масс-спектральный анализ
KW  - спектроскопия ионно-фотонная
KW  - математическое моделирование процессов
KW  - кинетика отказов
KW  - миграционные модели
KW  - транзисторы полевые арсенидгаллиевые
KW  - электрические характеристики
N1  - Библиогр. в конце ст
ER  -