TY  - SER
AU  - Демкин,Владимир Петрович
AU  - Мельничук,Сергей Васильевич
AU  - Семухин,Борис Семенович
TI  - Получение нанокристаллических слоев в монокристаллическом кремнии в плазме высоковольтного разряда пучкового типа
KW  - водородосодержащая плазма
KW  - монокристаллический кремний
KW  - нанослои
KW  - экстремальное изменение удельного сопротивления
KW  - наноструктурные комплексы Si-H
KW  - статьи в журналах
N1  - Библиогр.: 10 назв
N2  - Приведены результаты исследований образования наноструктурных комплексов водород – кремний в приповерхностном слое монокристаллического кремния при его обработке в водородосодержащей плазме. С помощью ИК- и оже-спектроскопии показано, что только при малых временах обработки происходит образование нанослоев и, как следствие, экстремальное изменение удельного сопротивления приповерхностного слоя
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001133684
ER  -