TY  - BOOK
AU  - Гуртов,Валерий Алексеевич
AU  - Логинов,Дмитрий Владимирович
TI  - Микросистемы: учебное пособие для студентов физико-технических специальностей университетов
SN  - 9785802137611
PY  - 2021///
CY  - Петрозаводск
PB  - Издательство ПетрГУ
KW  - микроэлектромеханические системы (МЭМС)
KW  - микроэлектромеханические системы, структурные элементы
KW  - микроэлектромеханические системы, микрообработка
KW  - микроэлектромеханические системы, материалы
KW  - микроэлектромеханические системы, технологии
KW  - микроэлектромеханические устройства
KW  - датчики давления
KW  - микрофоны
KW  - высокочастотные ключи
KW  - акселерометры
KW  - магнитометры
KW  - гироскопы
KW  - актуаторы (исполнительные машины)
KW  - датчики температуры
KW  - микроэлектромеханические системы оптические
KW  - микроэлектромеханические системы биомедицинские
KW  - электромеханические устройства, методы анализа
KW  - компьютерное моделирование микроэлектромеханических систем
KW  - наноэлектромеханические системы
KW  - нанонити, формирование
KW  - нанорезонаторы
KW  - микроэлектромеханические системы, герметизация
KW  - микроэлектромеханические системы, корпусирование
KW  - микроэлектромеханические системы, стандартизация
KW  - микроэлектромеханические системы, классификация
N1  - Библиогр.: с. 175-187; Предм. указ.: с. 174
ER  -