Гуртов В. А. Микросистемы : учебное пособие для студентов физико-технических специальностей университетов / В. А. Гуртов, Д. В. Логинов ; Петрозаводский гос. ун-т. - Петрозаводск : Издательство ПетрГУ, 2021. - 187, [1] с.: ил., табл., портр.