TY  - SER
AU  - Струнин,Владимир Иванович
AU  - Китаева,Елена Александровна
AU  - Худайбергенов,Гамзат Жапарович
TI  - Расчет химического состава гелий-силановой плазмы
KW  - гелий-силановая плазма
KW  - химический состав
KW  - высокоэнергетичные электроны
KW  - пылевые частицы
KW  - метастабильные атомы
KW  - статьи в журналах
N1  - Библиогр.: 15 назв
N2  - Предложена модель, описывающая процесс разложения силана в разряде высокочастотной гелиевой плазмы. На основании численных расчетов получены концентрации продуктов диссоциации силана, проанализирована роль метастабильных атомов гелия в образовании пленкообразующих радикалов
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001130401
ER  -