TY - BOOK AU - Петрова,Юлианна Сергеевна AU - Калыгина,Вера Михайловна ED - Томский государственный университет. TI - Свойства пленок оксида галлия, полученных методом электрохимического окисления пластин GaAs: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 1.3.11 PY - 2022/// CY - Томск PB - [б. и.] KW - физика полупроводников KW - nsnr KW - диссертации KW - пленки оксида галлия, свойства KW - пленки оксида галлия, морфология поверхности KW - пленки оксида галлия, структура KW - пленки оксида галлия, фазовый состав KW - пленки оксида галлия, оптические свойства KW - фотодиоды дальнего УФ-излучения KW - рентгеновский дифракционный анализ KW - оксид галлия-арсенид галлия, фотоэлектрические характеристики KW - пленки оксида галлия, выращивание методом зондирования KW - пленки оксида галлия, обработка в кислородной плазме KW - арсенид галлия, концентрация электронов KW - пластины арсенида галлия KW - электрохимическое окисление KW - анодирование KW - МЦП-структуры KW - вольт-амперная характеристика KW - вольт-фарадная характеристика KW - вязкостно-скоростная характеристика N1 - Библиогр.: л. 122-129; Доступ в сети ТГУ UR - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001130044 ER -