TY - BOOK AU - Берлин,Е.В. AU - Григорьев,В.Ю. AU - Сейдман,Л.А. TI - Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения PY - 2018/// CY - Москва PB - Техносфера KW - индуктивные источники KW - высокоплотная плазма KW - электрод KW - плотность плазмы KW - ионный ток N1 - Книга находится в премиум-версии IPR SMART UR - https://www.iprbookshop.ru/93367.html ER -