Берлин . Е. Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения / Е. В. Берлин, В. Ю. Григорьев, Л. А. Сейдман. - Москва : Техносфера, 2018. - 464 с.. URL: https://www.iprbookshop.ru/93367.html