TY  - BOOK
AU  - Неволин,В.К.
TI  - Зондовые нанотехнологии в электронике
PY  - 2014///
CY  - Москва
PB  - Техносфера
KW  - зондовые нанотехнологии
KW  - электроника
KW  - квантовая схема
KW  - интегральная схема
KW  - зондовая микроскопия
KW  - электрохимический массоперенос
N1  - Книга находится в премиум-версии IPR SMART
N2  - Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функциональных элементов. Если их размеры становятся порядка нанометров, то существенными являются квантовые эффекты, принципиально меняющие физику работы. Созданием таких элементов и интегральных квантовых схем на их основе занимается нанотехнология. В монографии изложены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, показаны основные достижения, обсуждаются проблемы, требующие решения. Предназначена для студентов старших курсов, аспирантов и молодых ученых, желающих познакомиться с новым научным направлением и попробовать свои силы в развитии технологии ХХI века
UR  - https://www.iprbookshop.ru/26894.html
ER  -