TY - BOOK AU - Александров С.Е. AU - Греков Ф.Ф. TI - Технология полупроводниковых материалов SN - 978-5-8114-1290-7 PY - 2022/// CY - Санкт-Петербург PB - Лань KW - алюминий KW - бестигельная зонная плавка KW - бинарное соединение KW - бриджмена - стокбаргера метод KW - бриджмена-стокбаргера метод KW - вернейля метод KW - выращивание монокристаллов KW - выращивание полупроводниковых монокристаллов KW - галлий KW - германий KW - глубокая KW - глубокая очистка веществ KW - глубокая очистка исходных веществ KW - индий KW - кирополуса метод KW - киропулоса метод KW - компонент KW - компонент летучий KW - компонент нелетучий KW - кремний KW - летучий KW - механизм автокапиллярный KW - микроэлектронные схемы интегральные - производство KW - монокристалл KW - монокристаллы KW - мышьяк KW - нономатериалы KW - очистка KW - очистка полупроводниковых материалов KW - полупроводник KW - полупроводниковое соединение KW - полупроводниковые материалы KW - полупроводниковые материалы - физико-химические свойства KW - полупроводниковые материалы полупроводники KW - примесь KW - расплав KW - синтез KW - синтез полупроводниковых соединений KW - синтез метастабильный KW - система нитридная KW - строение кристаллическое KW - технология KW - технология монокристаллов KW - технология полупроводников KW - учебник и пособие KW - учебные пособия KW - фаза метастабильная KW - формообразование KW - фосфор KW - чохральского KW - чохральского метод KW - электроника KW - электротехника N1 - Библиогр.: доступна в карточке книги, на сайте ЭБС Лань; Книга из коллекции Лань - Инженерно-технические науки N2 - Представлена технология и техника производства полупроводниковых материалов, имеющих широкое применение в электронной промышленности. Рассмотрены основные физические и химические свойства элементарных полупроводников и компонентов бинарных соединений, необходимые для обоснования рациональных приемов их глубокой очистки, синтеза и получения в виде массивных монокристаллов. Приведены традиционные и новейшие технологические схемы и технические решения, даны краткие описания оборудования, позволяющие формировать оптимальные схемы производства с учетом требований к качеству продукции. Пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по магистерской программе «Современные проблемы материаловедения» направления подготовки магистров «Материаловедение и технология материалов». Оно также может быть использовано при обучении в системах повышения квалификации и в учреждениях дополнительного профессионального образования UR - https://e.lanbook.com/book/210869 UR - https://e.lanbook.com/img/cover/book/210869.jpg ER -