С. Е. Технология полупроводниковых материалов / Александров С. Е.,Греков Ф. Ф.. - 2-е изд., испр.. - Санкт-Петербург : Лань, 2022. - 240 с.. URL: https://e.lanbook.com/book/210869. URL: https://e.lanbook.com/img/cover/book/210869.jpg