TY  - BOOK
AU  - Величко,Александр Андреевич
AU  - Игнатов, Александр Николаевич
AU  - Гришина,Ирина Владимировна
TI  - Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники: учебное пособие : [для студентов всех форм обучения по направлениям: 11.03.01 "Радиоэлектроника",11.03.02 "Инфокоммуникационные технологии и системы связи", 11.03.03 "Конструирование и технология электронных средств", 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", а также учащихся колледжей электронного и радиотехнических профилей]
SN  - 9785972913169
PY  - 2023///
CY  - Москва [и др.]
PB  - Инфра-Инженерия
KW  - история электроники
KW  - микроэлектроника
KW  - наноэлектроника
KW  - химические элементы электроники
KW  - химические соединения электроники
KW  - материалы электроники
KW  - материалы наноэлектроники
KW  - микроэлектроника, технологии изготовления
KW  - наноэлектроника, технологии изготовления
KW  - нанотехнология кремниевая
KW  - нанотехнология углеродная
KW  - жидкокристаллическая технология
KW  - нанотехнология квантовая
KW  - молекулярная технология
KW  - нанобиотехнология
KW  - OLED-технология
KW  - наноэлектронные изделия
KW  - нанопсихология
KW  - нанотехнологическое оборудование
KW  - кристаллы, анализ состава
KW  - ионная спектрометрия, методы
KW  - электронная спектрометрия, методы
KW  - электронная микроскопия, методы
KW  - просвечивающая электронная микроскопия
KW  - сканирующая электронная микроскопия
N1  - Авт. указ. на обороте тит. л; Библиогр.: с. 343-349
ER  -