Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники : учебное пособие : [для студентов всех форм обучения по направлениям: 11.03.01 "Радиоэлектроника",11.03.02 "Инфокоммуникационные технологии и системы связи", 11.03.03 "Конструирование и технология электронных средств", 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", а также учащихся колледжей электронного и радиотехнических профилей] / А. А. Величко, И. В. Гришина, А. Н. Игнатов [и др.] ; под ред. А. Н. Игнатова. - Москва [и др.] : Инфра-Инженерия, 2023. - 349 с.: ил., табл.