Медведев А. М. Микро- и нанотехнологии: материаловедение в электронном приборостроении : [учебник для студентов бакалавриата и магистратуры, обучающихся по направлениям 11.00.00 "Электроника, радиотехника и системы связи", 12.03.01 "Приборостроение", 22.00.00 "Технология материалов"] / А. М. Медведев. - Москва : КноРус, 2023. - 268 с.: ил., табл. - ( Бакалавриат и магистратура )