TY  - SER
AU  - Есбергенов,Дарьябай Муратбаевич
TI  - Взаимодействие примесей Zn и Ni с технологическими примесями в кремнии
KW  - кремний
KW  - цинк
KW  - никель
KW  - диффузия
KW  - рентгеновские спектры
KW  - рентгеновская дифракция
KW  - ИК-спектроскопия
KW  - статьи в журналах
N1  - Библиогр.: 20 назв; Ограниченный доступ
N2  - Приведены результаты исследований взаимодействия атомов примесей цинка и никеля в кремнии, легированных последовательно, в различных комбинациях c помощью метода рентгеновской дифракции и ИК-фурье-спектрометрии. Степень кристалличности решетки кремния, легированного примесями Zn, Ni, зависит от технологии введения данных примесей. Было обнаружено, что после введения атомов Zn в Si, предварительно легированный Ni (Si<Ni, Zn>), вместе с уменьшением концентрации атомов оптически-активного кислорода улучшается прозрачность кристалла, в то время как в образцах при обратной комбинации легирования (Si<Zn, Ni>) наблюдается обратный эффект
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001004106
ER  -