Normal view
MARC view
CVD - метод Химическое парофазное осаждение В. Г. Сыркин; Рос. АН, Ин-т металлоорганической химии им. Г. А. Разуваева
Material type:
TextPublication details: М. Наука 2000Description: 495, [1] с. илISBN: 5020016837Subject(s): металлизация парофазная | металлические пленки | металлоорганические соединения летучие | металлоцены | галогениды металлов | алкилы металлов | CVD-металлизация | осаждение металлических пленок | термическая диссоциация (металлические пленки)
| Item type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 1-872480к (Browse shelf (Opens below)) | 1 | Available | 13820000202195 |
Библиогр.: с. 467-491
There are no comments on this title.