Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Структурно-примесные и электрофизические свойства системы Si-SiO2

By: Зайцев, Николай АлексеевичContributor(s): Шурчков, Игорь ОлеговичMaterial type: TextTextPublication details: М. Радио и связь 1993Description: 192 с. илSubject(s): кремний | дефекты | микросхемы | электрофизика | окисление | Si-SiO2Other classification: 29.19.31
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.