Терагерцовый имиджинг микроэлектронных устройств А. И. Бердюгин, С. Н. Жакупов
Material type:
ArticleContent type: Текст Media type: электронный Subject(s): терагерцовое излучение | неинвазивный контроль | терагерцовый имиджинг | микроэлектронные устройстваGenre/Form: статьи в сборниках Online resources: Click here to access online
In:
Труды семнадцатой Всероссийской конференции студенческих научно-исследовательских инкубаторов, г. Томск, 11–15 мая 2020 г С. 33-36Abstract: Работа посвящена исследованию метода неинвазивного контроля микроэлектронных устройств, основанного на использовании результатов пост-анализа процесса взаимодействия электромагнитных волн терагерцового (ТГц) диапазона частот с объектами микроэлектроники. В эксперименте используется спектрометр ТГц диапазона, генерирующий непрерывный квазиоптический пучок, через который последовательно (шаг за шагом) перемещается исследуемый
объект, в результате чего фиксируется матрица значений интенсивности электромагнитного излучения для каждой элементарной ячейки
микроэлектронного устройства. Данный эксперимент демонстрирует
возможности применения ТГц излучения для неинвазивного анализа
элементов микроэлектроники.
Библиогр.: 4 назв.
Работа посвящена исследованию метода неинвазивного контроля микроэлектронных устройств, основанного на использовании результатов пост-анализа процесса взаимодействия электромагнитных волн терагерцового (ТГц) диапазона частот с объектами микроэлектроники. В эксперименте используется спектрометр ТГц диапазона, генерирующий непрерывный квазиоптический пучок, через который последовательно (шаг за шагом) перемещается исследуемый
объект, в результате чего фиксируется матрица значений интенсивности электромагнитного излучения для каждой элементарной ячейки
микроэлектронного устройства. Данный эксперимент демонстрирует
возможности применения ТГц излучения для неинвазивного анализа
элементов микроэлектроники.
There are no comments on this title.