Normal view
MARC view
Фазовые и структурные превращения в пленках системы Pt-Ni-Si при различных видах термообработки С. Б. Кушев, С. А. Солдатенко, Б. Н. Маркушев
Material type:
ArticleSubject(s): физика полупроводников | физика диэлектриков | пленки | силицидные пленки | термическая обработка | импульсный фотонный отжиг | термический отжиг
In:
Физика твердого тела : тезисы докладов VI Российской научной студенческой конференции С. 91
No physical items for this record
There are no comments on this title.