Normal view
MARC view
Исследование процесса газофазного травления кремния дифторидом ксенона О. В. Соколова, Д. Г. Шамирян
Material type: ArticleSubject(s): физика полупроводников | полупроводники | полупроводниковые приборы | газофазное травление | кремний | дифторид ксенона | математическое моделирование | Монте-Карло метод In: Физика твердого тела : тезисы докладов V Российской научной студенческой конференции, 14-16 мая 1996 г С. 91No physical items for this record
Библиогр.: 1 назв.
There are no comments on this title.