Normal view
MARC view
Влияние различных стадий процессов ионной имплантации и отжига в МЛЭ HgCdTe на адмиттанс тестовых структур металл-диэлектрик-полупроводник А. В. Войцеховский, С. Н. Несмелов, С. М. Дзядух [и др.]
Material type:
ArticleSubject(s): молекулярно-лучевая эпитаксия | металл-диэлектрик-полупроводник | адмиттанс | экспериментальные исследования | ионная имплантацияGenre/Form: статьи в сборниках Online resources: Click here to access online
In:
Актуальные проблемы радиофизики АПР 2019 : 8-я Международная научно-практическая конференция, 1-4 октября 2019 года, г. Томск : сборник трудов конференции С. 370
No physical items for this record
Библиогр.: 3 назв.
There are no comments on this title.