Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Технология полупроводниковых приборов [учебное пособие для вузов по специальностям "Полупроводники и диэлектрики" и "Полупроводниковые и микроэлектронные приборы"] И. Г. Пичугин, Ю. М. Таиров

By: Пичугин, Игорь ГеннадьевичContributor(s): Таиров, Юрий МихайловичMaterial type: TextTextPublication details: Москва Высшая школа 1984Description: 287, [1] сSubject(s): учебные пособия для вузов | полупроводниковые приборы, технология | омические контакты | поверхности полупроводников, обработка | конструкции полупроводниковых приборов | контроль технологических процессов | полупроводниковые материалы, обработка | фотохимические процессы | интегральные микросхемы, производство | эпитаксиальные процессы | электронно-дырочные структуры | Ионное легирование | диффузия | контактные системы | защита поверхности полупроводников | покрытия полупроводников органическиеGenre/Form: учебные издания Online resources: Click here to access online
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Item type Current library Call number Status Date due Barcode
6 месяцев Абонемент 621.38 П364 (Browse shelf (Opens below)) Checked out 03/05/2024 13820000782450
Выдается в читальный зал Книгохранилище 1-552589к (Browse shelf (Opens below)) Available 13820000783468

Библиогр.: с. 287

There are no comments on this title.

to post a comment.