Термодинамическое исследование влияния состава мишеней и условий их магнетронного распыления на фазовый состав получаемых пленок Т. Д. Малиновская, В. И. Сачков, С. А. Сосновский, В. В. Жек
Material type:
ArticleSubject(s): магнетронное распыление | оксидные мишени | термодинамическое моделирование | оксид индия | оксид диспрозияGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online
In:
Известия высших учебных заведений. Физика Т. 61, № 7. С. 52-57Abstract: Проведено термодинамическое исследование плазмохимических процессов в магнетроне при распылении мишеней, состоящих из оксидов индия и диспрозия, которое позволило выяснить принципиальную возможность образования при заданных условиях тех или иных количеств образуемых химических соединений In2O3, Dy2O3, DyInO3. Для проведения термодинамического анализа равновесных составов при магнетронном напылении пленок была использована универсальная программа TЕRRA.
Библиогр.: 6 назв.
Ограниченный доступ
Проведено термодинамическое исследование плазмохимических процессов в магнетроне при распылении мишеней, состоящих из оксидов индия и диспрозия, которое позволило выяснить принципиальную возможность образования при заданных условиях тех или иных количеств образуемых химических соединений In2O3, Dy2O3, DyInO3. Для проведения термодинамического анализа равновесных составов при магнетронном напылении пленок была использована универсальная программа TЕRRA.
There are no comments on this title.