Особенности структуры покрытий нитрида титана в разрезах поверхности подложки В. М. Кузнецов, С. В. Овчинников, В. А. Слабодчиков
Material type:
ArticleSubject(s): ионно-плазменная обработка | модификация поверхности | магнетронное распыление | изделия | сложные формы | электронная микроскопия | кривизна-кручение кристаллической решетки | фазовые превращенияGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online
In:
Известия высших учебных заведений. Физика Т. 61, № 11. С. 51-61Abstract: С использованием методик микрорентгеноспектрального анализа, оже-электронной спектроскопии и электронно-микроскопического темнопольного анализа изгиба-кручения кристаллической решётки выполнено исследование элементного состава и структурно-фазового состояния покрытий нитрида титана на плоской поверхности и в разрезе подложки из стали 12Х18Н10Т. Установлено, что покрытие в разрезе в сравнении с фронтальной поверхностью имеет модифицированный элементный состав и двуслоевую структуру, особенности которых, как и толщина слоёв, меняются в зависимости от расстояния от поверхности образца. Показано, что данные изменения связаны с фазовыми превращениями, уменьшением степени дефектности, дисперсности структуры слоёв и росте концентраций примесных элементов с удалением от поверхности подложки. На основе полученных результатов обсуждаются возможные условия формирования структуры покрытий в разрезе поверхности подложки.
Библиогр.: 28 назв.
Ограниченный доступ
С использованием методик микрорентгеноспектрального анализа, оже-электронной спектроскопии и электронно-микроскопического темнопольного анализа изгиба-кручения кристаллической решётки выполнено исследование элементного состава и структурно-фазового состояния покрытий нитрида титана на плоской поверхности и в разрезе подложки из стали 12Х18Н10Т. Установлено, что покрытие в разрезе в сравнении с фронтальной поверхностью имеет модифицированный элементный состав и двуслоевую структуру, особенности которых, как и толщина слоёв, меняются в зависимости от расстояния от поверхности образца. Показано, что данные изменения связаны с фазовыми превращениями, уменьшением степени дефектности, дисперсности структуры слоёв и росте концентраций примесных элементов с удалением от поверхности подложки. На основе полученных результатов обсуждаются возможные условия формирования структуры покрытий в разрезе поверхности подложки.
There are no comments on this title.