Normal view
MARC view
Влияние рельефа поверхности подложки на особенности структуры покрытия Si, полученного магнетронным распылением В. А. Слабодчиков, С. В. Овчинников, В. М. Кузнецов
Material type: ArticleSubject(s): магнетронное распыление | подложки | рельеф поверхности | кремнийGenre/Form: статьи в сборниках Online resources: Click here to access online In: Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций : международная конференция, 9-13 октября 2017 года, Томск, Россия : тезисы докладов С. 456No physical items for this record
There are no comments on this title.