Normal view
MARC view
Исследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.27.01
Material type:
TextPublication details: М. 1996Description: 25 с. таблSubject(s): авторефераты диссертаций | высокочастотные разряды | генерация | плазма | плазмохимические реакторы | плазмохимия | реакторы | травления | физико-химические процессыOther classification: 31.15.29 | 47
| Item type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 1-820464к (Browse shelf (Opens below)) | 1 | Available | 13820000067071 |
Библиогр.: с. 24-25.
There are no comments on this title.