Normal view
MARC view
Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах [В. А. Гриценко, А. П. Елисеев, М. В. Иванов и др.] ; отв. ред. А. Л. Асеев, В. А. Гриценко ; Российская акад. наук, Сибирское отд-ние, Ин-т физики полупроводников им. А. В. Ржанова [и др.]
Material type:
TextLanguage: Russian Series: Интеграционные проекты СО РАНPublication details: Новосибирск Изд-во Сибирского отделения Российской академии наук 2011Description: 157 с. ил., табл. 25 смISBN: 9785769211836Other title: Synthesis, properties and applications of dielectrics with high dielectric constant in silicon based devices [Parallel title]Subject(s): полупроводниковые приборы | диэлектрики с высокой диэлектрической проницаемостью | полупроводниковые приборы кремниевые | прекурсоры | электронные структуры | атомные структуры | вакансии кислорода | люминесценция диэлектриков | фотолюминесценция диэлектриков | диэлектрические пленки | high-k-диэлектрики | диоксид гафния | оксид кремния | оксинитрид кремния | нестехиометрические соединения | перенос зарядов | проводимость диэлектриков двузонная | инжекция электронов | проводимость полупроводников | диэлектрическая проницаемость, оптимизация
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|
| Выдается по месту хранения | Читальный зал 5 | 621.3 С387 (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000884446 | |
| 1 месяц | Читальный зал. Депозитарий | 621.3 С387 (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000884447 |
Browsing Научная библиотека ТГУ shelves, Shelving location: Читальный зал. Депозитарий Close shelf browser (Hides shelf browser)
Авт. указаны на обороте тит. л.
Библиогр. в конце гл.
There are no comments on this title.