Normal view
MARC view
Неохлаждаемые микроболометры на основе поликристаллического SiGe для инфракрасного диапазона А. В. Войцеховский, Н. А. Кульчицкий, А. А. Мельников, С. Н. Несмелов
Material type:
ArticleSubject(s): неохлаждаемые микроболометры | инфракрасные детекторы | труды ученых ТГУ
In:
Высокие технологии в промышленности России : материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники : материалы XVII Международной научно-технической конференции Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011, 8-10 сентября. Тонкие пленки в электронике : материалы XXIV Международного симпозиума Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011, 8-10 сентября. Наноинженерия : материалы IV Международной научно-технической конференции Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011, 8-10 сентября С. 95-103
No physical items for this record
Библиогр.: 44 назв.
There are no comments on this title.