Normal view
MARC view
Тенденции развития МЭМС А. А. Резнев, В. Д. Вернер
Material type:
TextLanguage: Russian Publication details: Москва Амиант 2010Description: 272, [1] с. рис., табл., цв. илISBN: 9785423100421Subject(s): электромеханические системы | Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная | микроразмерные электромеханические системы | микромеханические устройства | микросистемная техника | микрообработка | кремниевые материалы | технологии производства | LIGA-технологии | электрохимические методы | стереолитографические методы | полимерные технологии | спрей-технологии | преобразователи | актюаторы | сенсорные сети | источники энергии | микросистемы комплексированные | микросистемы реконфигурированные | автоматизированное проектирование микроэлектромеханических систем | применение микроэлектромеханических систем | миниатюризация микроэлектромеханических системOther classification: З965.32-022,0
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|
| Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 2-006364к (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000810436 |
Browsing Научная библиотека ТГУ shelves, Shelving location: Книгохранилище Close shelf browser (Hides shelf browser)
Библиогр.: с. 268-272
There are no comments on this title.