Normal view
MARC view
Лабораторный практикум по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами" [для студентов, изучающих дисциплину "Металлизация в системах с наноразмерными элементами"] В. И. Шевяков ; М-во образования и науки Российской Федерации, Московский гос. ин-т электронной техники (технический ун-т)
Material type:
TextLanguage: Russian Series: Учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника"Publication details: Москва МИЭТ 2011Description: 48 с. ил., табл. 21 смSubject(s): Интегральные схемы -- Металлизация -- Учебные издания для высших учебных заведений | лабораторные работы | интегральные схемы сверхбольшие | наноэлектроника | контакты выпрямляющие силицидные | контакты омические силицидные | диэлектрики многоуровневой системы металлизации | осаждение диэлектрика | пульверизации метод | центрифугирования метод
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|
| Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 1-998716к (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000792255 |
Библиогр. в конце лабораторных работ
There are no comments on this title.