Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Конспект лекций по дисциплине "Низкотемпературные процессы в технологии наноэлектроники и наносистем" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"] С. А. Гаврилов, А. Н. Белов, А. В. Железнякова ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)

By: Гаврилов, Сергей Александрович доктор техн. наукContributor(s): Белов, Алексей Николаевич | Железнякова, Анастасия ВячеславовнаMaterial type: TextTextSeries: Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"Publication details: Москва МИЭТ 2011Description: 172 с. илISBN: 9785725606522Subject(s): учебные пособия для вузов | нанотехнологии | наноструктуры | наноэлектроника | наноструктуры пористые | анодное окисление материалов | анодное растворение материалов | катодное осаждение материалов | нанополупроводники | поверхности нанополупроводников | нанотехнологии низкотемпературные | нанокристаллы нитевидные | наноструктуры кремниевые | электрохимические процессы | электроды полупроводниковые | нанотехнологии электрохимические | материалы нанотехнологии
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Item type Current library Call number Status Date due Barcode
Выдается в читальный зал Книгохранилище 1-998728к (Browse shelf (Opens below)) Available 13820000792206

Библиогр.: с. 169 - 170

There are no comments on this title.

to post a comment.