Normal view
MARC view
Конспект лекций по дисциплине "Низкотемпературные процессы в технологии наноэлектроники и наносистем" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"] С. А. Гаврилов, А. Н. Белов, А. В. Железнякова ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)
Material type: TextSeries: Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"Publication details: Москва МИЭТ 2011Description: 172 с. илISBN: 9785725606522Subject(s): учебные пособия для вузов | нанотехнологии | наноструктуры | наноэлектроника | наноструктуры пористые | анодное окисление материалов | анодное растворение материалов | катодное осаждение материалов | нанополупроводники | поверхности нанополупроводников | нанотехнологии низкотемпературные | нанокристаллы нитевидные | наноструктуры кремниевые | электрохимические процессы | электроды полупроводниковые | нанотехнологии электрохимические | материалы нанотехнологииItem type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
---|---|---|---|---|---|
Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 1-998728к (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000792206 |
Библиогр.: с. 169 - 170
There are no comments on this title.