Normal view
MARC view
Учебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"] В. И. Шевяков ; Моск. гос. ин-т электронной техники (технический ун-т)
Material type:
TextLanguage: Russian Series: Учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника"Publication details: Москва МИЭТ 2011Description: 95 с. ил., табл. 21 смISBN: 9785725606478Subject(s): Интегральные схемы -- Металлизация -- Учебные издания для высших учебных заведений | наноэлектроника | металлизация многослойная многоуровневая | контакты омические | контакты выпрямляющие | контакты омические силицидные | тепловая устойчивость контактных систем металлизации | контактные системы металлизации | металлизация многоуровневаяOther classification: З844.15-060.7я73-14
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|
| Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 1-998711к (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000792260 |
Библиогр.: с. 93
There are no comments on this title.