Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Лабораторный практикум по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"] А. А. Голишников, М. Г. Путря ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)

By: Голишников, Александр АнатольевичContributor(s): Путря, Михаил ГеоргиевичMaterial type: TextTextLanguage: Russian Series: Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"Publication details: Москва МИЭТ 2011Description: 100 с. ил. 21 смSubject(s): учебные пособия для вузов | лабораторные работы | интегральные схемы | наноэлектроника | диэлектрические пленки | тонкие пленки | магнетронное распыление | плазменное травление
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Item type Current library Call number Status Date due Barcode
Выдается в читальный зал Книгохранилище 1-998700к (Browse shelf (Opens below)) Available 13820000792270
Browsing Научная библиотека ТГУ shelves, Shelving location: Книгохранилище Close shelf browser (Hides shelf browser)
No cover image available No cover image available
No cover image available
No cover image available
1-998697к Примерная программа учебной дисциплины "Современные проблемы технологии наноэлектроники" 1-998698к Примерная программа учебной дисциплины "Наноэлектронные устройства и их модели" 1-998699к Учебное пособие по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" 1-998700к Лабораторный практикум по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"] 1-998701к Учебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами" 1-998702к Примерная программа учебной дисциплины "Металлизация в системах с наноразмерными элементами" 1-998703к Учебное пособие по дисциплине "Физика и химия поверхности" [по направлениям 210100 "Электроника и наноэлектроника", 150100 "Материаловедение и технология материалов"]

Библиогр. в конце работ

There are no comments on this title.

to post a comment.