Normal view
MARC view
Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники учебное пособие : [для вузов по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" и по специальностям 010803 (014100) "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы", 210100 "Электроника и микроэлектроника", 210100 (550700) "Электроника и микроэлектроника" (бакалавр)] С. А. Гаврилов, А. Н. Белов
Material type:
TextLanguage: Russian Series: Основы наукPublication details: М. Высшее образование 2009Description: 257 с. ил. 21 смISBN: 9785969203044; 5969203044Subject(s): электрохимия | нанотехнология | электродные процессы | электроды полупроводниковые | полупроводник-электролит | химическая кинетика | электрохимическое разложение полупроводников | анодное растворение полупроводников | электроды кремниевые | массоперенос | микроструктуры кремниевые | наноструктуры кремниевые | оксидные пленки анодные | наноструктуры твердотельные | ионная имплантация | оксид алюминия анодный пористый | катодное осаждение | LIGA-технологии | наноразмерные кластеры металлов | поверхности полупроводников | нанокристаллы нитевидные | осаждение матричное нанокристаллов нитевидныхOther classification: 32.85я73
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|
| Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 1-979416к (Browse shelf (Opens below)) | Available | 13820000702263 |
Библиогр.: с. 256-257
There are no comments on this title.