Normal view
MARC view
Влияние термического отжига и воздействия кислородной плазмы на свойства структур TiO2-Si В. М. Калыгина, В. А. Новиков, Ю. С. Петрова и др.
Material type: ArticleSubject(s): термический отжиг | пленки оксида титана | оксиды титана | кислородная плазмаGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online In: Физика и техника полупроводников Т. 48, вып. 7. С. 989-994No physical items for this record
There are no comments on this title.