Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Влияние термического отжига и воздействия кислородной плазмы на свойства структур TiO2-Si В. М. Калыгина, В. А. Новиков, Ю. С. Петрова и др.

Contributor(s): Калыгина, Вера Михайловна | Петрова, Юлианна Сергеевна | Толбанов, Олег Петрович | Черников, Евгений Викторович | Цупий, Светлана Юрьевна | Яскевич, Тамара Михайловна | Новиков, Вадим Александрович | Томский государственный университет Радиофизический факультет Кафедра полупроводниковой электроники | Томский государственный университет Научное управление Лаборатории НУ | Томский государственный университет Радиофизический факультет Научные подразделения РФФ | Томский государственный университет Сибирский физико-технический институт Научные подразделения СФТИMaterial type: ArticleArticleSubject(s): термический отжиг | пленки оксида титана | оксиды титана | кислородная плазмаGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online In: Физика и техника полупроводников Т. 48, вып. 7. С. 989-994
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
No physical items for this record

There are no comments on this title.

to post a comment.
Share