Normal view
MARC view
Проблемы проектирования интегральных тензопреобразователей давления на основе слоев поликристаллического кремния автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук. 05.27.01
Material type:
TextPublication details: Новосибирск [б. и.] 2005Description: 37 с. илSubject(s): Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах | авторефераты диссертаций
| Item type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Выдается в читальный зал | Книгохранилище | 1-925774к 53 (Browse shelf (Opens below)) | 1 | Available | 13820000492202 |
Библиогр.: с. 31-37
There are no comments on this title.