Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Таблицы параметров пространственного распределения ионноимплантированных примесей (Теория, метод расчета, таблицы) [А. Ф. Буренков, Ф. Ф. Комаров, М. А. Кумахов, М. М. Темкин]

Contributor(s): Буренков, Александр Федорович | Комаров, Фадей Фадеевич | Кумахов, Мурадин Абубекирович | Темкин, Михаил МатвеевичMaterial type: TextTextPublication details: Минск Изд-во БГУ 1980Description: 350 с. ил. 17 смSubject(s): Полупроводники - Легирование ионное - Расчетное таблицы
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Item type Current library Call number Copy number Status Date due Barcode
1 месяц Книгохранилище 1-430991 (Browse shelf (Opens below)) 1 Available 13820000399210

Авт. указаны на обороте тит. л.

There are no comments on this title.

to post a comment.