Физико-технологические основы создания градиентно-слоистых поверхностей многокомпонентного состава совмещением методов ионно-диффузионного насыщения, магнетронного и вакуумно-дугового осаждения В. М. Савостиков, А. И. Потекаев, А. Н. Табаченко
Material type:
ArticleContent type: Текст Media type: электронный Subject(s): градиентно-слоистые покрытия | ионно-диффузионное насыщение | магнетронное и вакуумно-дуговое осажденияGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online
In:
Известия высших учебных заведений. Физика Т. 54, № 7. С. 26-34Abstract: На базе созданного оригинального технологического комплекса разработан технологический комбинированный процесс формирования градиентно-слоистых поверхностных слоев и многокомпонентных покрытий. Процесс реализуется в условиях совмещенной последовательно-одновременной работы газового плазмогенератора с накаливаемым катодом, дуомагнетрона с двумя распыляемыми мишенями и двумя электродуговыми испарителями. Расширение функциональных возможностей обеспечивается применением оригинальных многоэлементных и многофазных катодных мишеней в виде соединений по типу боридов, карбидов, силицидов, сульфидов металлов, изготавливаемых СВС-методом с одновременным компактированием. Изменение состава, структуры и физико-механических свойств по сечению градиентно-слоистых поверхностных слоев и покрытий обеспечивается целенаправленным изменением очередности распыляемых катодных мишеней плазменных источников, соотношением интенсивностей плазменных рабочих потоков и варьированием энергии прибывающих на подложку частиц, определяемой значением ускоряющего потенциала на подложке.
Библиогр.: 38 назв.
На базе созданного оригинального технологического комплекса разработан технологический комбинированный процесс формирования градиентно-слоистых поверхностных слоев и многокомпонентных покрытий. Процесс реализуется в условиях совмещенной последовательно-одновременной работы газового плазмогенератора с накаливаемым катодом, дуомагнетрона с двумя распыляемыми мишенями и двумя электродуговыми испарителями. Расширение функциональных возможностей обеспечивается применением оригинальных многоэлементных и многофазных катодных мишеней в виде соединений по типу боридов, карбидов, силицидов, сульфидов металлов, изготавливаемых СВС-методом с одновременным компактированием. Изменение состава, структуры и физико-механических свойств по сечению градиентно-слоистых поверхностных слоев и покрытий обеспечивается целенаправленным изменением очередности распыляемых катодных мишеней плазменных источников, соотношением интенсивностей плазменных рабочих потоков и варьированием энергии прибывающих на подложку частиц, определяемой значением ускоряющего потенциала на подложке.
There are no comments on this title.