Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники Учебное пособие
Material type:
TextSeries: Высшее образование: БакалавриатPublication details: Москва Издательский Центр РИОР 2019Description: 240 сSubject(s): Радиоэлектроника. Автоматика. Связь -- Микроэлектроника. НаноэлектроникаOther classification: 24.57я73 | 28.04.03 | 28.04.04 | 11.04.04 | 28.04.02 | 28.04.01 | 28.03.02 | 28.03.03 | 11.03.03 | 11.03.04 | 28.03.01 Online resources: Click here to access online | 
Summary: Книга посвящена научно-технологическим основам электрохимических процессов применяемых в технологии микро- и наноструктур которые интенсивно развиваются в последнее время. В пособии приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики рассмотрены механизмы формирования твердотельных микро- и наноструктур особенности получения и применения пористого кремния описаны электрохимические процессы в технологии МЭМС процессы формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применение в микро- и нанотехнологии процессы анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа катодного осаждения металлов и полупроводников их применение в технологии УБИС МЭМС и нанотехнологии. Предназначено для студентов аспирантов научных работников и инженеров.
Книга посвящена научно-технологическим основам электрохимических процессов применяемых в технологии микро- и наноструктур которые интенсивно развиваются в последнее время. В пособии приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики рассмотрены механизмы формирования твердотельных микро- и наноструктур особенности получения и применения пористого кремния описаны электрохимические процессы в технологии МЭМС процессы формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применение в микро- и нанотехнологии процессы анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа катодного осаждения металлов и полупроводников их применение в технологии УБИС МЭМС и нанотехнологии. Предназначено для студентов аспирантов научных работников и инженеров.
There are no comments on this title.