Normal view
MARC view
Физические основы вакуумной техники Учебное пособие
Material type:
TextPublication details: Новосибирск Новосибирский государственный технический университет (НГТУ) 2014Description: 84 сSubject(s): Промышленность. Энергетика -- Электроэнергетика. ЭлектротехникаOther classification: 312 | 13.04.02 | 13.03.02 Online resources: Click here to access online | 
Summary: Рассмотрены физические основы работы наиболее распростра- ненных типов вакуумных насосов манометрических датчиков давле- ния и масс-спектрометров а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практиче- ских навыков работы с оборудованием предлагаются соответствую- щие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов обучающихся по направ- лению 200100 Электроника и наноэлектроника. Оно может быть рекомендовано также для специалистов занимающихся эксплуатаци- ей вакуумного технологического оборудования.
No physical items for this record
Рассмотрены физические основы работы наиболее распростра- ненных типов вакуумных насосов манометрических датчиков давле- ния и масс-спектрометров а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практиче- ских навыков работы с оборудованием предлагаются соответствую- щие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов обучающихся по направ- лению 200100 Электроника и наноэлектроника. Оно может быть рекомендовано также для специалистов занимающихся эксплуатаци- ей вакуумного технологического оборудования.
There are no comments on this title.