Scientific Library of Tomsk State University

   Digital catalogue        

Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике А. И. Борисенко, В. В. Новиков, Н. Е. Прихидько и др. Акад. наук СССР, Ин-т химии силикатов им. ю И. В. Гребенщикова

Contributor(s): Борисенко, Анатолий Исидорович | Новиков, В. В | Приходько, Н. ЕMaterial type: TextTextPublication details: Л. Наука. Ленинградское отделение 1972Description: 112, [2] с. илSubject(s): тонкие пленки | электронные схемы | интегральные схемы | тонкие неорганические пленки | производство пленок
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Item type Current library Call number Copy number Status Date due Barcode
Выдается по месту хранения Читальный зал 5 621.3 Т572 (Browse shelf (Opens below)) 1 Available 13820000277467

Библиогр.: с. 107-113

There are no comments on this title.

to post a comment.
Share