Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Optical properties of aluminum- and silicon-nitride films and Al–Si–N nanocomposite coatings deposited by reactive magnetron sputtering (Record no. 901045)

000 -Маркер записи
Контрольное поле постоянной длины 02578nab a2200397 c 4500
001 - Контрольный номер
Контрольное поле koha000901045
005 - Дата корректировки
Контрольное поле 20230322173423.0
007 - Кодируемые данные (физ. описан.)
Контрольное поле постоянной длины cr |
008 - Кодируемые данные
Контрольное поле постоянной длины 220930|2021 xxu s a eng d
024 7# - Прочие стандартные номера
Стандартный номер 10.1134/S1027451021010274
Источник номера doi
035 ## - Системный контрольный номер
Системный контрольный номер koha000901045
040 ## - Источник каталогиз.
Служба первич. каталог. RU-ToGU
Код языка каталог. rus
Служба, преобразующая запись RU-ToGU
245 10 - Заглавие
Заглавие Optical properties of aluminum- and silicon-nitride films and Al–Si–N nanocomposite coatings deposited by reactive magnetron sputtering
Ответственность F. V. Konusov, S. K. Pavlov, A. L. Lauk [et al.]
336 ## - Тип содержимого
Тип содержимого Текст
337 ## - Средство доступа
Средство доступа электронный
504 ## - Библиография
Библиография Библиогр.: 28 назв.
520 3# - Аннотация
Аннотация Abstract: In this paper, we study the optical properties of aluminum- and silicon-nitride films and Al–Si–N coatings with variable atomic composition deposited by reactive magnetron sputtering on glass, silicon, and steel substrates. The absorption and luminescence characteristics are determined by the composition of the coatings and microstructure and depend on the physical properties of the substrate. The absorption and luminescence centers are associated with intrinsic defects in the nitrides and their simplest complexes. The relationships between the accumulation of growth defects, their interaction, the type of distribution of localized states, the band gap, and the stability of the optical properties are established. At an increase in the silicon content in the coatings, the degree of static induced disorder increases, and the contribution of the continuous distribution of the defect levels and interband absorption increases. Silicon-containing defects stabilize the optical properties of the coatings.
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова нитриды
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова пленки
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова коэффициент поглощения
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова межзонное поглощение
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова локализованные состояния
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова нанокомпозитные покрытия
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова пленки нитрида алюминия
655 #4 - Термин индексирования — жанр/форма
Жанр/форма статьи в журналах
9 (RLIN) 879358
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Konusov, Fedor V.
9 (RLIN) 814408
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Pavlov, S. K.
9 (RLIN) 814410
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Lauk, A. L.
9 (RLIN) 814411
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Kabyshev, A. V.
9 (RLIN) 814412
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Gadirov, Ruslan M.
9 (RLIN) 95832
773 0# - Источник информации
Название источника Journal of surface investigation: X-ray, synchrotron and neutron techniques
Место и дата издания 2021
Прочая информация Vol. 15, № 1. P. 139-146
ISSN 1027-4510
852 4# - Местонахождение единицы хранения
Код организации-хранителя RU-ToGU
856 4# - Электронный адрес документа
URL <a href="http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000901045">http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000901045</a>
908 ## - Параметр входа данных
Параметр входа данных статья
999 ## - Системные контрольные номера (Koha)
biblionumber (Koha) 901045

No items available.