Normal view
MARC view
Optical properties of aluminum- and silicon-nitride films and Al–Si–N nanocomposite coatings deposited by reactive magnetron sputtering (Record no. 901045)
[ view plain ]
000 -Маркер записи | |
---|---|
Контрольное поле постоянной длины | 02578nab a2200397 c 4500 |
001 - Контрольный номер | |
Контрольное поле | koha000901045 |
005 - Дата корректировки | |
Контрольное поле | 20230322173423.0 |
007 - Кодируемые данные (физ. описан.) | |
Контрольное поле постоянной длины | cr | |
008 - Кодируемые данные | |
Контрольное поле постоянной длины | 220930|2021 xxu s a eng d |
024 7# - Прочие стандартные номера | |
Стандартный номер | 10.1134/S1027451021010274 |
Источник номера | doi |
035 ## - Системный контрольный номер | |
Системный контрольный номер | koha000901045 |
040 ## - Источник каталогиз. | |
Служба первич. каталог. | RU-ToGU |
Код языка каталог. | rus |
Служба, преобразующая запись | RU-ToGU |
245 10 - Заглавие | |
Заглавие | Optical properties of aluminum- and silicon-nitride films and Al–Si–N nanocomposite coatings deposited by reactive magnetron sputtering |
Ответственность | F. V. Konusov, S. K. Pavlov, A. L. Lauk [et al.] |
336 ## - Тип содержимого | |
Тип содержимого | Текст |
337 ## - Средство доступа | |
Средство доступа | электронный |
504 ## - Библиография | |
Библиография | Библиогр.: 28 назв. |
520 3# - Аннотация | |
Аннотация | Abstract: In this paper, we study the optical properties of aluminum- and silicon-nitride films and Al–Si–N coatings with variable atomic composition deposited by reactive magnetron sputtering on glass, silicon, and steel substrates. The absorption and luminescence characteristics are determined by the composition of the coatings and microstructure and depend on the physical properties of the substrate. The absorption and luminescence centers are associated with intrinsic defects in the nitrides and their simplest complexes. The relationships between the accumulation of growth defects, their interaction, the type of distribution of localized states, the band gap, and the stability of the optical properties are established. At an increase in the silicon content in the coatings, the degree of static induced disorder increases, and the contribution of the continuous distribution of the defect levels and interband absorption increases. Silicon-containing defects stabilize the optical properties of the coatings. |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | нитриды |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | пленки |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | коэффициент поглощения |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | межзонное поглощение |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | локализованные состояния |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | нанокомпозитные покрытия |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | пленки нитрида алюминия |
655 #4 - Термин индексирования — жанр/форма | |
Жанр/форма | статьи в журналах |
9 (RLIN) | 879358 |
700 1# - Другие авторы | |
Другие авторы | Konusov, Fedor V. |
9 (RLIN) | 814408 |
700 1# - Другие авторы | |
Другие авторы | Pavlov, S. K. |
9 (RLIN) | 814410 |
700 1# - Другие авторы | |
Другие авторы | Lauk, A. L. |
9 (RLIN) | 814411 |
700 1# - Другие авторы | |
Другие авторы | Kabyshev, A. V. |
9 (RLIN) | 814412 |
700 1# - Другие авторы | |
Другие авторы | Gadirov, Ruslan M. |
9 (RLIN) | 95832 |
773 0# - Источник информации | |
Название источника | Journal of surface investigation: X-ray, synchrotron and neutron techniques |
Место и дата издания | 2021 |
Прочая информация | Vol. 15, № 1. P. 139-146 |
ISSN | 1027-4510 |
852 4# - Местонахождение единицы хранения | |
Код организации-хранителя | RU-ToGU |
856 4# - Электронный адрес документа | |
URL | <a href="http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000901045">http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000901045</a> |
908 ## - Параметр входа данных | |
Параметр входа данных | статья |
999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
biblionumber (Koha) | 901045 |
No items available.